분 야

소관부서

산학협력단

등록일

2002-01-10

제 목

실리콘/실리콘 기판 접합용 저온국부가열 장치 및 방법

주요내용

권리 유형

① 특허

발명 목적

본 발명은 실리콘/실리콘 기판 접합용 저온국부가열 장치 및 방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 기판의 선형적인 가열로 형성되는 온도구배를 통해 직접 접합시 유발된 비접합 영역을 기판 외부로 제거하여 접합률을 향상하고 배치 방식 대신 기판을 이동시키는 연속화 공정을 실현할 수 있는 실리콘/실리콘 기판 접합용 저온국부가열 장치 및 방법에 관 한 것이다.

발명 구성

이러한 목적을 달성하기 위해 본 발명은 실리콘/실리콘(산화막) 기판을 직접 접합법으로 가열하여 접합하는 장치에 있어서: 상기 기판에 열과 광을 집속하도록 케이싱(10) 내에서 집열기(11)의 중앙으로 할로겐 램프(12)가 구비되고, 도관(13)을 통하여 분위기 조절을 위한 공정가스가 제공되는 가열수단이다.

기대 효과

이상의 구성 및 작용에 따르면 본 발명은 기판의 선형적인 가열로 형성되는 온도구배를 통해 직접 접합시 유발된 비접합 영역을 제거하여 접합률을 향상하고 배치 방식 대신 기판을 이동시키는 연속화 공정을 실현할 수 있는 효과가 있다.