특허공고문

○ 발명의 명칭 : 테라헤르츠 전자기파를 이용한 고해상도 영상 생성 장치 및 영상 생성 방법

○ 권리유형 : 특허

○ 등록번호 : 10-1701409

○ 등록일 : 2017.01.24

○ 요약

- 본 발명은 기준 검사체와 피검사체를 번갈아가며 실시간 또는 준-실시간으로 동시에 영상을 획득할 수 있어서 영상의 정확도 및 해상도를 높일 수 있고, 검사체를 이동하지 않고 검사체에 인가되는 테라헤르츠 전자기파의 위치를 변화시켜가면서 영상을 획득함으로써 영상의 정확도 및 해상도를 높일 수 있는 테라헤르츠 전자기파를 이용한 고해상도 영상 생성 장치 및 영상 생성 방법에 관한 것이다.

레이저 빔을 생성하는 광원; 상기 레이저 빔을 제1 레이저 빔 및 제2 레이저 빔으로 분리하여 출력하는 빔 스플리터; 기준 검사체 및 피검사체를 수용하며, 상기 제1 레이저 빔이 입사한 위치에서 테라헤르츠 전자기파를 생성하고, 생성된 상기 테라헤르츠 전자기파를 상기 기준 검사체 및 상기 피검사체 중 어느 하나로 방사하는 테라헤르츠 전자기파 생성부; 상기 빔 스플리터로부터 출력되는 상기 제1 레이저 빔의 조사 위치를 조정하여 상기 테라헤르츠 전자기파 생성부로 진행시키는 레이저 빔 변조부; 상기 기준 검사체 또는 상기 피검사체를 투과한 상기 테라헤르츠 전자기파를 검출하는 검출부; 상기 검출부에서 검출된 상기 테라헤르츠 전자기파와 상기 제2 레이저 빔을 기초로 상기 기준 검사체 및 상기 피검사체 중 적어도 하나의 영상 신호를 획득하는 영상 획득부; 및 상기 제1 레이저 빔이 상기 테라헤르츠 전자기파 생성부의 상기 기준 검사체 및 상기 피검사체 중의 어느 하나에 대응하는 위치로 진행하도록 상기 레이저 빔 변조부의 동작을 제어하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 테라헤르츠 전자기파를 이용한 고해상도 영상 생성 장치가 제공된다.