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850. LER에 따른 임의 변화를 최소화하는 디자인 파라미터 결정 장치 및 결정 방법

2017.07.06
서울시립대학교
전화
02-6490-6372

특허공고문

○ 발명의 명칭 : LER에 따른 임의 변화를 최소화하는 디자인 파라미터 결정 장치 및 결정 방법

○ 권리유형 : 특허

○ 등록번호 : 10-1740986

○ 등록일 : 2017.05.23

○ 요약

- 본 발명은 LER에 따른 임의 변화의 영향을 최소화하도록 디자인 파라미터, 예컨대 소스 영역의 돌출부의 두께를 최적화하여 결정할 수 있어서 LER에 따른 임의 변화에 대해 강인한 소자를 반도체 소자를 설계할 수 있는 LER에 따른 임의 변화를 최소화하는 디자인 파라미터 결정 장치 및 결정 방법에 관한 것이다.

(a) 수직 구조 터널 전계 효과 트랜지스터의 소자 파라미터들을 입력받는 단계; (b) 상기 돌출부의 두께(Tsov)를 변화시키면서 상기 수직 구조 터널 전계 효과 트랜지스터의 LER에 따른 소자 특성을 상기 소자 파라미터들을 기초로 산출하는 단계; 및 (c) 상기 LER에 따른 소자 특성을 기초로 상기 돌출부의 최종 두께를 결정하는 단계를 포함하는 LER에 따른 임의 변화를 최소화하는 디자인 파라미터 결정 방법이 제공된다.

 

 


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