특허공고문

○ 발명의 명칭 : 임의 변화를 최소화하는 디자인 파라미터 결정 장치 및 결정 방법

○ 권리유형 : 특허

○ 등록번호 : 10-1740982

○ 등록일 : 2017.05.23

○ 요약

- 본 발명은 임의 변화의 영향을 최소화하도록 디자인 파라미터, 예컨대 소스 영역의 돌출부의 두께를 최적화하여 결정할 수 있어서 임의 변화에 대해 강인한(robust) 소자를 반도체 소자를 설계할 수 있는 임의 변화를 최소화하는 디자인 파라미터 결정 장치 및 결정 방법에 관한 것이다.

(a) 수직 구조 터널 전계 효과 트랜지스터의 소자 파라미터들을 입력받는 단계; (b) 돌출부의 두께(Tsov)를 변화시키면서 상기 수직 구조 터널 전계 효과 트랜지스터의 LER(Line Edge Roughness)에 따른 소자 특성 및 RDF(Random Dopant Fluctuation)에 따른 소자 특성을 상기 소자 파라미터들을 기초로 산출하는 단계; 및 (c) 상기 LER에 따른 소자 특성 및 상기 RDF에 따른 소자 특성을 기초로 상기 돌출부의 최종 두께를 결정하는 단계를 포함하는 임의 변화를 최소화하는 디자인 파라미터 결정 방법이 제공된다.