○ 발명의 명칭 : 전기전도성 실리콘옥시카바이드 세라믹스 및 이의 제조방법
○ 권리유형 : 특허
○ 등록번호 : 10-1735456
○ 등록일 : 2017.05.08
○ 요약
- 폴리실록산과 카본계 원료를 이용한 실리콘옥시카바이드 세라믹스, 및 폴리실록산과 카본계 원료를 혼합 및 건조시키는 단계,상기 건조된 혼합물을 경화시키는 단계, 상기 경화된 결과물을 열분해시키는 단계, 상기 열분해된 결과물을 1 ㎛미만의 입자 크기를 가지도록 분쇄(grinding)시키는 단계, 및 상기 분쇄된 결과물을 가압소결시키는 단계를 포함하는 실리콘옥시카바이드 세라믹스의 제조 방법에 관한 것이다.
본 발명에서는 폴리실록산에 탄소계 원료를 사용하여, 그 첨가량을 최적화시킴에 따라 균열이 없고, 치밀한 구조를 가지는 전기전도성 실리콘옥시카바이드 세라믹스를 제조하였다. 또한, 본 발명에서는 종래 박막 크기로밖에 제조할 수 없었던 실리콘옥시카바이드 세라믹스를 벌크 상태로 제조할 수 있는 방법을 제공함으로써, 상기 실리콘옥시카바이드 세라믹스를 다양한 용도에 적용할 수 있는 효과를 가진다.
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